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氮气纯化设备采用的是运衡气体NPBd加碳燃烧型氮气纯化设备，此设备主要利用燃烧型催化剂在高温下和氧气发生反应的特性，来除去氮气中的杂质氧气，其化学方程式如下：

2C+2O2==2CO2↑

普氮首*入换热器通过预热再进入燃烧塔升温，升温至350℃左右，普氮中的氧与催化剂中的碳进行反应，来除去普氮中的氧，燃烧塔中的属消耗型，一般每隔30天需更换一次，更换时系统提示切换到另一塔继续工作。

经过燃烧塔的高温氮气，经管路进入换热器将原料氮气预热，这样就可以充分利用高温氮气的部分热量来预热进口的低温氮气，同时降低后部冷却器的进气温度，从而降低了风扇耗电的消耗量，减低了运行成本。

经降温后的氮气，进入组合式干燥机干燥塔后，利用13X的强吸附性，可使气体得到进一步的干燥，并除去部分二氧化碳，最后通过粉尘过滤器，除去气体中的微量粉尘。高纯氮出口由调压阀调节到设定压力，再通过节流阀调节到设定流量后输出，同时通过氮气分析仪、流量计对氮气的纯度、流量进行检测。