HPG400 大气压到高真空真空计
产品简介
详细信息
好处
- HPG400 可节省成本和工具空间，降低真空系统的安装与设置的复杂性
- 高压热电离可以准确可靠地测量 1 X 10-5 至 1 mbar 范围内的压力，进而改善过程控制
- 用户可选的热电离发射在 5 X 10-2 至 1 mbar 之间启动
- 皮拉尼联锁保护丝极，防止过早烧毁
- 备有可选的图形显示器和现场总线接口
- 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预
- 符合 RoHS 标准
典型应用
- 半导体制造、电子工业和媒体工业中的溅镀应用
- 工业镀膜
- 低真空至高真空范围内的一般真空测量和控制
规格
| 类型 | HPG400 | |
|---|---|---|
| 测量范围（空气，N2） | 2×10-6 … 1000 | |
| 精度 | ||
| 10-5 … 1 毫巴 | % of reading | ±15 (1) |
| 可重复性 | ||
| 10-5 … 10-1 毫巴 | % of reading | 2 |
| 10-1 … 100 毫巴 | % of reading | 30 |
| 热离子发射，可选： | ||
| 选购件 1 | mbar | 1 |
| 选购件 2 | mbar | 5×10-1 |
| 选购件 3 | mbar | 2×10-1 |
| 选购件 4 | mbar | 1×10-1 |
| 选购件 5 | mbar | 5×10-2 |
| 压力， | bar (absolute) | 2 |
| 温度 | ||
| 运行（环境） | °C | 0 … +50 |
| 贮存 | °C | -20 … +70 |
| 在法兰处烘烤 | °C | 80 |
| 移除烘烤电子设备 | °C | 150 |
| 电源电压 | 20 … 28 | |
| 输出信号模拟 | ||
| 输出信号 | V | 0 … +10.2 |
| 测量范围热阴极 | V | 1.5 … 7.5 |
| 测量范围皮拉尼 | V | 8.5 … 9.75 |
| 电压比压强热阴极 | volts per decade | 1 |
| 电压与压强皮拉尼 | volts per decade | 0.25 |
| 错误信号热阴极 | V | 0.3 |
| 错误信号皮拉尼 | V | 0.5 |
| 最小负载电阻 | kΩ | 10 |
| 接口（数字）(2) | RS232C | |
| 电气连接 | D-Sub, 15-pin, male | |
| 电缆长度， (3) | m (ft.) | 100 (330) |
| 暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
| 内部容积 KF / CF | cm³ (in.³) | 20 (1.2) / 30 (1.8) |
| 重量 KF / CF | g | 430 / 695 |
| 保护等级 | IP30 | |
| DeviceNet™ | ||
| 协议 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
| 数据率开关 | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
| 电缆长度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
| 电缆长度 250 kbps | m (ft.) | 250 (825) |
| 电缆长度 500 kbps | m (ft.) | 100 (330) |
| MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | |
| 网络规模 | up to 64 nodes per segment | |
| 数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
| 模拟功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
| 可视通信指示器 | LED network status (green / red) ; LED module status (green / red) | |
| 技术规格 | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" | |
| 设备类型 | ''CG'' for combination gauge | |
| I / O 从属传讯 | polling only | |
| 设定点继电器： 设定点数量 | 2 | |
| 设定点继电器： 范围 | mbar | 2×10-6 … 100 |
| 设定点继电器： 继电器触点 | n.o., potential free | |
| 设定点继电器： 滞后 | % of reading | 10 |
| 设定点继电器： 触点额定值 | 60 | |
| DeviceNet™ 电源电压 | 11 … 25 | |
| 真空计电源电压 | V (dc) | 20 … 28 |
| DeviceNet™ 连接器 | Microstyle, 5-pin | |
| HPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
| Profibus DP | ||
| 波特率 | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 | |
| 地址 | 2 switches (address 00 - 127) or network programmable | |
| 数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
| 模拟功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
| 设定点继电器： 设定点数量 | 2 | |
| 设定点继电器： 范围 | mbar | 2×10-6 … 100 |
| 设定点继电器： 继电器触点 | n.o., potential free | |
| 设定点继电器： 滞后 | % of reading | 10 |
| 设定点继电器： 触点额定值 | 60 | |
| Profibus DP 连接器 | D-Sub, 9-pin, female | |
| HPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
(1) 准确度为 10-5 mbar 至激发所选热电离辐射的值
(2）不可同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和现场总线
(3) 用于 <30m 的 RS232C 运行
零件号
| HPG400 | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 353-520 | 皮拉尼真空计 |
| 354-486 | HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF |
| 353-521 | HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF |
| 353-522 | HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F |
| 353-523 | HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F |
| 353-525 | HPG400-SP HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF |
| 353-526 | HPG400-SP PBus，DN 40 CF-F |
| 353-527 | HPG400-SD HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF |
| 353-528 | HPG400-SD DNet DN 40 CF-F |
附件
| HPG400 | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 211-113 | 中心圈 with baffle DN 25 KF |
| 353-511 | BPG400 24V电源 |
| 357-499 | Baffle HPG (10 pieces) |
备件
| HPG400 | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 354-487 | HPG400 备用传感器 |
| 354-488 | HPG400 Spare meas. system DN 40 CF-F |
数据表
手册
手册
三维步骤文件
其他文件