BAG402 中到超高真空真空计
产品简介
详细信息
好处
- 测量范围从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）
- 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
- 超压检测保护丝极，防止过早烧毁
- 双长使用寿命氧化钇铱丝
- 自动发射电流选择降低了控制复杂性
- 传感元件带有板载校准数据，易于更换，可保证高再现性
- 符合 RoHS 标准
典型应用
- 对半导体过程和传输腔室的压力测量
- 工业镀膜
- 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制
规格
| 类型 | BAG402 | |
|---|---|---|
| 测量范围 (空气, 氧2, 一氧化碳, 氮2) | 5×10-10 … 2.7×10-2 | |
| 精度 | ||
| 10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | ±15 |
| 重复性 | ||
| 10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | 5 |
| 除气 (1) | ||
| p < 7.2="" ×="">-6 | mbar | electron bombardment, max. 3 min |
| 压强, | bar (absolute) | 2 |
| 温度 | ||
| 操作 (环境) | °C | 0 … +50 |
| 储存 | °C | -20 … +70 |
| 法兰口的烘烤，不带BPG402-S电子单元 | °C | 80 |
| 供电电压 | +20 … +28 | |
| 输出信号模拟 (4) | ||
| 输出信号 | V | 0 … +10 |
| 测量范围 log / lin | V | 0 … +9 |
| 电压 vs. 压强 | volts per decade | 1 |
| 错误信号 | V | > +10 |
| 负载阻抗, 最小 | kΩ | 10 |
| 第二模拟输出 | none | |
| 设点继电器 | ||
| 设定点数量 | none | |
| 范围 | ||
| 继电器触点 | ||
| 滞后 | ||
| 触点额定值 | ||
| 数字功能 | degas and emission | |
| 接口 (数字) (2) | Diagnosis port | |
| 发射控制 | manual | |
| 灯丝 | two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir) | |
| 灯丝状态 / 继电器 | LED / relay | |
| 电气连接 | D-Sub, 9-pin, male | |
| 电缆长度，值 | m (ft.) | 100 (330) |
| 暴露于真空中的材料 | Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
| 内部容积 KF / CF | cm³ (in.³) | 24 (1.46) / 34 (2.1) |
| 重量 KF / CF | g | 450 / 710 |
| 保护级别 | IP30 | |
1）除气期间准确性降低
2）不可同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和现场总线
零件号
| BAG402 | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 353-600 | BAG402 DSUB9 KF25 |
| 353-601 | BAG402 DSUB9 CF40 |
附件
| BAG402 | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 303-333 | Diagnostic cable 1.9m (P3) |
备件
| BAG402 | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 354-484 | 备用传感器 BAG402 DN 25 ISO-KF |
| 354-485 | 备用传感器 BAG402 DN 40 CF-R |
数据表
手册
手册
三维步骤文件