BPG402-Sx 大气压至超高真空真空计
产品简介
详细信息
好处
- 从 5 x 10-10 mbar 至大气气压（3.8 x 10-10 Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围
- 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
- 皮拉尼联锁保护丝极，防止过早烧毁
- 双长使用寿命氧化钇铱丝
- 备有可选的图形显示器和现场总线接口
- 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预
- 传感元件带有板载校准数据，易于更换，可保证高再现性
- 符合 RoHS 标准
典型应用
- 对半导体过程和传输腔室的压力测量
- 工业镀膜
- 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制
新闻
新！ 现在提供 EtherCAT 数字接口！
规格
| 类型 | BPG402-S | |
|---|---|---|
| 测量范围（空气、O2、CO、N2） | 5×10-10 … 1000 | |
| 精度 | ||
| 10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | ±15 |
| 可重复性 | ||
| 10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | 5 |
| 除气 (1) | ||
| p < 7.2="" ×="">-6 | mbar | electron bombardment, max. 3 min |
| 压力， | bar (absolute) | 2 |
| 温度 | ||
| 运行（环境） | °C | 0 … +50 |
| 贮存 | °C | -20 … +70 |
| 在法兰处烘烤，无电子设备 BPG402-S | °C | 80 |
| 无电子设备，在法兰处烘烤 BPG402-SL | °C | 150 |
| 电源电压 | +20 … +28 | |
| 输出信号模拟 | ||
| 输出信号 | V | 0 … +10 |
| 测量范围 | V | +0.774 … +10 |
| 电压与压强 | volts per decade | 0.75 |
| 错误信号 | V | 0.1 / 0.3 / 0.5 |
| 最小负载电阻 | kΩ | 10 |
| 设定点继电器 | ||
| 设定点数量 | 1 | |
| 范围 | mbar | 1×10-9 … 100 |
| 继电器触点 | n.o., potential free | |
| 滞后 | % of reading | 10 |
| 触点额定值 | ≤30 | |
| 数字功能 | degas | |
| 接口（数字）(2) | RS232C | |
| 发射控制 | automatic / manual via interface | |
| 单丝 | two Yt2O3 coated Ir | |
| 单丝状态/继电器 | LED / relay | |
| 电气连接 | D-Sub, 15-pin, male | |
| 电缆长度， (3) | m (ft.) | 100 (330) |
| 暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
| 内部容积 KF / CF | cm³ (in.³) | 24 (1.46) / 34 (2.1) |
| 重量 KF / CF | g | 450 / 710 |
| 保护等级 | IP30 | |
| Profibus DP | ||
| 波特率 | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 | |
| 地址 | 2 switches (address 00 - 127) or network programmable | |
| 数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
| 模拟功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
| 设定点继电器： 设定点数量 | 2 | |
| 设定点继电器： 范围 | mbar | 1×10-9 … 100 |
| 设定点继电器： 继电器触点 | n.o., potential free | |
| 设定点继电器： 滞后 | % of reading | 10 |
| 设定点继电器： 触点额定值 | ≤30 | |
| Profibus DP 连接器 | D-Sub, 9-pin, female | |
| CDG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
| DeviceNet™ | ||
| 协议 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
| 数据率开关 | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
| 电缆长度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
| 电缆长度 250 kbps | m (ft.) | 250 (825) |
| 电缆长度 500 kbps | m (ft.) | 100 (330) |
| MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | |
| 数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
| 模拟功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
| 技术规格 | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" | |
| 设备类型 | ''CG'' for combination gauge | |
| I / O 从属传讯 | polling only | |
| 设定点继电器： 设定点数量 | 2 | |
| 设定点继电器： 范围 | mbar | 1×10-9 … 100 |
| 设定点继电器： 继电器触点 | n.o., potential free | |
| 设定点继电器： 滞后 | % of reading | 10 |
| 设定点继电器： 触点额定值 | ≤30 | |
| DeviceNet™ 电源电压 | +11 … +25 | |
| 真空计电源电压 | +20 … +28 | |
| DeviceNet™ 连接器 | Microstyle, 5-pin | |
| BPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
| 以太网 | ||
| 以太网协议 | protocol specialized for EtherCAT | |
| 通讯标准 | ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Part 1 Common Device Profile (CDP) ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Part 2080: Specific Device Profile (SDP) Vacuum Pressure Gauge | |
| 节点地址 | Explicit Device Identification | |
| 物理层 | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) | |
| 以太网数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information | |
| 过程数据 | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping | |
| 邮箱 (CoE) | SDO requests, responses and information | |
| 以太网连接件 | RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT | |
| 电缆 | shielded Ethernet CAT5e or higher | |
| 电缆长度 | m (ft.) | ≤100 (330) |
1）除气期间准确性降低
2）不可同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和现场总线
3）RS232C 操作 <>
零件号
| BPG402-S | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 353-570 | BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF |
| 353-571 | BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
| 353-572 | BPG402-S 真空计 |
| 353-573 | BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
| 353-578 | BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
| 353-574 | BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF |
| 353-575 | BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
| 353-576 | BPG402-SD 型真空计 |
| 353-577 | BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R. |
| 353-590 | BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
| 353-591 | BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R |
| 353-596 | BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
| 353-597 | BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R |
| 354-494 | BPG402 感应器 |
| 354-495 | BPG402 Spare measurement system DN40CF-R |
附件
| BPG402-S | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 353-511 | BPG400 24V电源 |
| 353-512 | Baffle for BPG400 |
| 211-113 | 中心圈 with baffle DN 25 KF |
备件
| BPG402-S | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 354-494 | BPG402 感应器 |
| 354-495 | BPG402 Spare measurement system DN40CF-R |
数据表
手册
手册
三维步骤文件
其他文件