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接触速度（Z 方向）

0.1 至 1 mm/s

测杆长度

175 mm, 350 mm

测量速度（文本）

0.2 mm/s 至 4 mm/s

针尖半径

25 µm

扫描长度末尾（X 方向）

200 mm

分辨率

Z 方向，相对探针针头：0.38 µm（350 mm 测杆）/ 0.19 µm（175 mm 测杆）
在 Z 方向，相对于测量系统：0.04 µm

扫描长度开始（X 方向）

0.2 mm

取样角

在平滑表面上，取决于偏差：后缘高至 88°，前缘高至 77°

定位速度（文本）

X 方向返回速度：0.2 至 8 mm/s
Z 方向：0.2 至 10 mm/s

导块偏差

< 1 µm（200 mm 以上）

测量范围 mm

（Z 方向）50 mm

扫描长度（文本）

0.2 mm 至 200 mm

测量力 (N)

1 mN 至 120 mN，以下和以上（可在 MarSurf XC 20 中设置）