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微小液体涡轮流量计是一种采用涡轮原理设计专门测量微小流量的专用流量计，它具有的精度，特别是在高温和高压的条件下也是如此。电子脉冲发生器也集成在流量计内，在长期连续工作的条件下也能保持± 1% 的精度和± 0.25% 的重复性。由于灵巧的结构设计，在工作时不会形成沉淀，所以仪表的工作完成是“洁净”的。适用无杂质液体。因此，即使是极为苛刻的要求，例如半导体集成电路和芯片的生产流程中使用的刻蚀剂，具有的耐腐蚀性，并如有一个极微小的颗粒落下，也会使芯片成为废品，这些都能满足。