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物流相关设备阀门隔膜阀

IGS金属隔膜阀

供应商：: 北京七星华创流量计有限公司

企业类型：: 其他

产品简介

应用于IGS的高纯度金属隔膜阀，采用二次熔炼的SUS316L作为阀体材质，有多种接口（C-seal和W-seal）可供选择。

详细信息

优势

• 高纯度工艺供气生产线
• 阀体材质选用二次熔炼的SUS316L，安全可靠
• W-seal和C-seal 可供选择

技术参数

尺寸	SEMI F83-0304 1.125” W seal 2 Port	SEMI F84-0304 1.125” W seal 3 Port	SEMI F86-0304 1.125” C seal 2 Port
Cv value( Cv值)	0.24	0.24	0.27
使用压力	1.0MPa(G)
使用温度范围	-10～80℃
外部泄露	≦3x10^-12 Pa・m³/sec Helium
阀座泄露	≦3x10^-10 Pa・m³/sec Helium

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