HPG400 高压热电离皮拉尼真空计 HPG400
可测量 2×10-6 毫巴至大气压(1.5×10-6 托至大气压)范围内的压力...
优点
- HPG400 可节省成本和工具空间,降低真空系统安装与设置的复杂性
- 高压热电离真空计可以准确可靠地测量 1×10-5 … 1 毫巴范围内的压力,进而改善过程控制
- 用户可选的热离子发射在 5×10-2 至 1 毫巴之间启动
- 皮拉尼联锁保护热丝,防止过早烧毁
- 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
- 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员干预
- RoHS 合规
典型应用
- 半导体制造、电子和媒介产业中的溅射应用
- 工业镀膜
- 低真空和高真空范围内的一般真空测量和控制