AFMinSEM 针尖电子束光刻与扫描电子显微镜组合系统
产品简介
详细信息
AFMinSEM 德国 Nano analytik（ParcanNano)针尖电子束光刻与扫描电子显微镜组合系统
简介：
公司以的针尖技术为核心竞争力，技术源自于德国伊尔默瑙工业大学，致力于主动式针尖技术在微纳米结构制备和表征方面的研发，及其相关设备的产业化。
公司开发的针尖技术模块为满足高精度成像而空间受限的应用需求而设计，既可以在大气环境下实现样品快速表征，也可以集成在真空环境中，如集成在扫描电子显微镜（SEM）中。无需对SEM腔室进行任何改造，保留SEM原有功能，赋予崭新的应用领域，例如进行原位形貌表征、微操作和针尖诱导沉积。
技术特点：
。 不影响扫描电镜自身功能
。4mm电镜工作距离确保高分辨
。 原子力、电子束及离子束功能联用
。 标准数据法兰接口，方便安装
。 大气、真空环境操作
。 体积小，重量轻，灵活
。 样品可扫范围大 20 x 20 mm
。 自激发自传感智能针尖规
功能指标：
