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MTCS2601 热导式压力传感器

一、热导式压力传感器 MTCS2601 描述：

MTCS2601 传感器由基于 MEMS 技术的 4 个 Ni-Pt 电阻组成的微机械的热电导率传感器。此传感器安装在小型的 SMD 封装内。同时结合了低功耗 CMOS 标准集成电路，非常适合 OEC 厂商的泄漏检测，或者基于帕拉尼原理的真空度检测，需要超低功耗，长寿命和免维护的产品。适用于恶劣环境下初级压力控制，需要功耗和尺寸的限制，或者密闭空间中气体泄漏或者水分， 或者侵入的监测。

二、 热导式压力传感器 MTCS2601特点：

MEMS 传感器遵循没有化学反应的物理皮拉尼原理，基于气体热导率变化Vs压力变化趋势

测量范围：0.0001~1000mbar，的可重复性
硅晶片上有加热电阻，并且有优异的温度补偿
超小的传感器气体体积例如< 0.1cm3
稳定和长的 MTBF（>30000 小时） ，基于物理阻抗感应原理
超低功耗消耗（<6mw）,由于使用了带小加热元件的 MEMS 传感器
超快响应时间<50ms< span="">
对安装位置不敏感
可以使用在串扰气体环境中
与一个简单恒定的温度电路兼容

三、 热导式压力传感器 MTCS2601应用：

将该传感器安装在压力阀或直接装在真空溜管或系统中，例如小的机械抽真空系统、 真空泵和分析仪器。 泄露微型SMD传感器可做专用压力下的密闭系统或仪器控制的完整性检测，它能做类似腐蚀或简单地盒子打开后的检测 (荷重元；飞轮系统；Dewar保温真空瓶...)