INFICON BPG400 大气压至超高真空真空计
益处
- 测量范围非常广，从 5×10-10 毫巴至大气压（3.8×10-10 托至大气压）
- 10-8 … 10-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性
- 皮拉尼联锁保护贝阿德-阿尔珀特系统在高压操作下灯丝过早烧毁和过度污染
- 使用寿命长的氧化钇铱丝
- 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
- 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
- RoHS 合规
- 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制
典型应用
- 对半导体过程和传输腔室的压力测量
- 工业镀膜
- 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制
