T-Stocker
产品简介
详细信息
产品描述
- 适用于半导体生产线物料在楼层间的直接传送，实现不同楼层生产线的一体化，用于工艺设备的自动上下料以及双层传送线的转换。
产品特性
可传送多种载具
物料直接搬运，传输速度快
适用于高洁净度环境
振动小，可靠性高
port口可选用自动或者手动方式
可与天车、AGV、传输线等搬运设备直接对接
产品参数
| 类 别 | 产 品 参 数 |
| 搬运载具类型 | FOUP.FOSB,Cassette,Magazine.Tray |
| 载具识别方式 | RFID，码 |
| LP | 每层楼一下，可以根据客户需求设定 |
| 提升速度 | 120 m/min |
| Acc.Dec. | >0.5 g(With FOUP) |
| 定位精度 | 士1.0 mm |
| 供电方式 | 非接触供电系统(CPS) |
| MTBF | 3000 hours |
| NCBF | 3450 yoles |
| 可靠性 | 99.0% |
| 洁净度 | Glass 100 |