YAMATO等离子清洗机PDC200
产品简介
详细信息
■ 操作性·功能
● 射频13.56Mhz 0-300W高功率机型，发生器自动匹配，无需调节反射波，进一步增加的操作的便捷性。
● 标准配备数字式皮拉尼传感器，实时显示真空度，使得控制更为精确。
● 平行平板腔体非常适合于实验室处理比较纯净的晶圆、硅片等样品，无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。
■ 安全性·保护
● 装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报警灯，可实时监测和了解机器的运转状态。
● 装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。
■ 产品优势
●等离子清洗机清洗效果好，清洗效率高，功率大，应用范围广。
●对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求。
●等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。
●高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。
●特制电极和托盘结构，可保证样品可得到全面有效的清洗。
■ 规格
| 型号 | PDC200 | |
| 方式 | RIE模式、平行平板腔体 | |
| 性能 | 发生器功率： | 0-300W |
| 发生器频率： | 射频RF13.56Mhz | |
| 发生器匹配方式： | 自动匹配（Auto matching） | |
| 构成 | 腔体材质： | 铝制 |
| 腔体内尺寸： | W400×D250×H150mm | |
| 反应气体： | 二路工艺气体，可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体。 | |
| 控制方式： | 全自动控制 | |
| 真空度显示： | 数字式皮拉尼传感器，实时显示腔体内真空度。 | |
| 配管材质： | SUS不锈钢以及特氟龙 | |
| 门： | 铰链门 | |
| 外形尺寸： | W540×D600×H600mm | |
| 真空泵抽速： | 4m3/hour | |
| 电源规格： | AC220V 10A | |
| 重量： | 约100kg | |