S48 28/HMT S48-28/HMT 热式气体质量流量控制器
产品简介
详细信息
| 产品名称：热式气体质量流量控制器 产品型号：S48 28/HMT S48-28/HMT |
可以任意角度安装
- 良好的线性——多段线性补偿
- 快速的响应
- 电磁阀使用寿命≥100万次
- 对零点漂移有效的抑制
- 化的零配件供应 ——传感器、分流器、精密元器件日本进口
- 良好的选择性
编号 项目 S48 28/HMT 1 流量规格 (100,150,200)L/min 2 调节阀类型 电磁调节阀 3 调节阀静止状态 常闭 4 安装角度 任意 5 流量控制范围 5%～99% 6 流量测量范围 0～99% 7 响应时间 2s（T98，设定值的±2% F.S.） 8 工作环境温度 5℃～50℃ 9 精度保证温度 15℃～35℃ 10 精度 ±1.0%F.S. 11 线性精度 ±0.5%F.S. 12 重复性 ±0.2%F.S. 13 工作压差 （100/150/200)L/min:(100/150/200)～300kPa 14 耐压 3MPa 15 泄漏率 1×10-8 Pa•m3/s （He） 16 接触气体材料 316L,PTFE,Viton氟橡胶 17 管路接头 Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″
VCR:1/4″3/8″18 供电电源 ±15VDC(±5%)
+15V，＜100mA；-15V，＜200mA+24VDC(宽电压+11～+25V),
＜350mA(+24VDC供电时)19 设定信号 (0～5)VDC 输入阻抗＞1MΩ 4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V） 20 流量输出信号 (0～5)VDC 负载能力≤3mA 21 电气接头 D-SUB15,D-SUB9 22 重量(kg) 2.8
| 产品名称：热式气体质量流量控制器 货 号：28590 产品型号：S48 28/HMT S48-28/HMT |
可以任意角度安装
- 良好的线性——多段线性补偿
- 快速的响应
- 电磁阀使用寿命≥100万次
- 对零点漂移有效的抑制
- 化的零配件供应 ——传感器、分流器、精密元器件日本进口
- 良好的选择性
编号 项目 S48 28/HMT 1 流量规格 (100,150,200)L/min 2 调节阀类型 电磁调节阀 3 调节阀静止状态 常闭 4 安装角度 任意 5 流量控制范围 5%～99% 6 流量测量范围 0～99% 7 响应时间 2s（T98，设定值的±2% F.S.） 8 工作环境温度 5℃～50℃ 9 精度保证温度 15℃～35℃ 10 精度 ±1.0%F.S. 11 线性精度 ±0.5%F.S. 12 重复性 ±0.2%F.S. 13 工作压差 （100/150/200)L/min:(100/150/200)～300kPa 14 耐压 3MPa 15 泄漏率 1×10-8 Pa•m3/s （He） 16 接触气体材料 316L,PTFE,Viton氟橡胶 17 管路接头 Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″
VCR:1/4″3/8″18 供电电源 ±15VDC(±5%)
+15V，＜100mA；-15V，＜200mA+24VDC(宽电压+11～+25V),
＜350mA(+24VDC供电时)19 设定信号 (0～5)VDC 输入阻抗＞1MΩ 4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V） 20 流量输出信号 (0～5)VDC 负载能力≤3mA 21 电气接头 D-SUB15,D-SUB9 22 重量(kg) 2.8