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一、简介

1.1 概要

真空等离子清洗机(Plasma cleaner)，气体通过激励电源离化成等离子态，等离子体作用于产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。

1.2 片式在线真空等离子的产品优势

（1）双工位设计，效率提高一倍

区别于传统的单工位设计，高集成度的双工位设计，一个等离子处理工位，一个待处理准备工位，节省产品传输时间，大幅度提高生产效率。

（2）兼容多种弹匣尺寸，适用性强

灵活调节的输送轨道设计，兼容多种尺寸的弹匣，适合处理多种产品。调节简捷，快速。

（3）优化设计的等离子放电设计，高浓度等离子体处理

高浓度CCP容性放电，等离子体密度高，处理效果好，均匀性好，短时间处理便能达到良好的活化效果。

（4）的气路输送设计，的处理效果和均匀性

设计的多通道进气及抽气系统，确保处理的均匀性和效果。

（5）级真空密封腔体，三道焊接工艺

高密封性优质航空铝合金腔体，三道焊接工艺，配合氦质真空检漏仪器，确保高真空度。

（6）的电气元件，高稳定，长寿命

采用国际的电气元件，西门子、施耐德、SMC等等配件。确保设备性能高可靠性，高稳定性，使用寿命更长。

（7）强大全面的工控程序，全面的运行保护，匹配MES系统

强大全面的工控程序，可实现各种运行保护，防止误操作，以及运行过程中出现的各种问题报警。并可以匹配MES系统。