AW-ZP系列在线式等离子清洗机
产品简介
详细信息
产品特性
■主要针对引线框架特性，配备自动取片、传输、送片等辅助功能
■高自动化，减少人为因素，降低二次污染
■高性价比，通过组件转换，可以兼容不同料片清洗
■清洗时间短，无溅射损伤和高湿损伤
■屏幕动画显示全线工作状态，运行过程实时监控
■设备参数分级管理，提高操作安全性
■完善的故障报警功能，提示故障项目和故障工位，便于维修
产品型号AW-ZP04AW-ZP04A
外形尺寸（不含报警灯塔）1650（W）×1000（D）×1650(H)mm
反应仓尺寸（铝合金）280(W)×450(D)×50(H）mm350（W）×450（D）×50(H)mm
等离子体发生器频率13.56MHz，功率0-600W可调，自动阻抗匹配
气路系统
标准配置2路（O2/Ar/H2），MFC质量流量计控制，气体流量0-200ml/min可调
控制系统触摸屏+PLC全自动控制，手动+自动两种操作模式
兼容料片尺寸长150-270mm，宽30-80mm长105-155mm，宽30-80mm
清洗效率
4道4片，UPH约500片/小时
4道8片，UPH约1000片/小时
针对产品工艺集成电路IC封装工艺LED封装工艺
备注
可按客户需求弹性设计
