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INFICON BPG402-S B-A型皮拉尼真空计

     INFICON B-A型皮拉尼复合真空计，BPG402-S，将两种真空计集成在一个简单小型的单元内，测量范围从5X10^-10毫巴至大气压（3.8X10^-10乇至大气压）。复合技术降低了安装，设置和集成的复杂性。选择一个经济型规管内的BPG402-S带有两根敷涂铱的氧化钇灯丝，用于普及和可再现过程中的基本压强测量。当更换传感器时，带有在机校准数据的传感元件保证高度的重复性。

优越性：

1、  极宽的测量范围从5X10^-10毫巴至大气压（3.8X10^-10乇至大气压）

2、  的重复性，过程压强范围从10^-8…10^-2毫巴均为5%

3、  皮拉尼联锁保护B-A型系统，防止灯丝过早烧毁和高压强运行产生污染

4、  两根敷涂铱的氧化钇长寿灯丝

5、  可选图形显示和Fieldbus接口

6、  自动高真空皮拉尼调整，减少操作人员的干预

7、  易于更换传感元件，带有在机校准数据保证高度的重复性

8、  符合RoHS

用途：

1、  半导体工艺过程和传输室中的压强测量

2、  工业镀膜

3、  从低至超高真空范围的一般真空测量和控制