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真空计为什么要校正和标定？

• 各类型的真空规和测量计出厂使用一段时间后，因设备工艺的影响、表面沉积物堆积、油污污染、电子漂移等因素导致真空计测量的准确度出现误差。
• 真空计的测量精度的误差会直接影响生产工艺的稳定性、设备使用的安全性、产品质量的可靠性、科学实验的准确性。
• 要确保真空计的高可靠性使用，就必须经常对它进行校准或标定，而根据不同应用的具体要求，这些校准工作必须符合相关行业的使用标准。

如何选择合适的真空计？

在选择真空计时，需要了解要测量的真空环境和真空压力计本身的测量范围是否相对应，尽管压力测量在真空控制中有很重要的作用，但是没有一种真空计能够从大气压到10^-12mbar的整个测量范围内准确响应，因此选择合适的压力计对真空应用的各个工艺环节至关重要。

首先要确定测量压力的范围是多少？因为不同的压力范围需要使用不同的真空计。另外还需确定允许测量的漂移度或精度是多少？

真空计通过紧凑的电子控制和测量单元将测量值转换为电压或电流信号。它们以模拟量的形式转换为标准化数字接口的数值来指示测量的压力值。

要获得最准确的压力值读数应首先考虑找到覆盖测量范围的真空规。

选择真空计考虑因素：

• 压力范围和精度是否符合使用要求
• 通讯和控制模式是否达到要求
• 购买成本和可维修性

真空规管的类型如下：

• 直接测测量规：弹性元件真空规，胶囊真空规和电容膜片规（CDG）
• 间接量测规：皮拉尼真空规，热阴极电离真空规和冷阴极电离规
• 主动与被动测量压力表

不同规管类型量程如下图：

• 影响真空计灵敏度的因素： 
• 被测气体的种类
• 温度 
• 准确度 
• 电导脉动 
• 震动 

为确保真空系统工作正常，真空计选择需要考虑很多因素，要了解有关真空压力测量主题的更多信息请查阅本站点技术博客“真空应用技术—真空计选择指南”

我们配备了完整的真空计校准系统和各型标准真空计。

我们提供各种类型的真空计校准和真空计控制器维修包括：

皮拉尼计、主动皮拉尼（APG）热电偶潘宁计、主动倒磁控管（AIM）

电容压力计、离子计、Bayard-Alpert计

品牌包括：国产各、MKS、INFICON、LEYBOLD、EDWARDS、PFEIFFER等。

真空技术应用 —真空计选择指南.PDF