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产品型号

PCE-6V 小型等离子清洗机

主要特点

 1、采用气体作为清洗介质，避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。

   2 、可短时间内清洗掉有机污染物。

   3  、清洗程度可达到分子级。

   4 、可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。

   5、清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性，并可消 毒和杀菌。

   6 、样品台可选配加热功能，可加负偏压，用以实现离子蚀刻。

   7、广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、 微观流体学等领域。

技术参数

1 、电压： AC220V    10A

 2、消耗功率： <500W  （包括真空泵）

 3 、RF 电源： 输出功率 100W ，输出频率 13.56MHz

   4、腔体： Ø190mm×98mm

   5、石英管： Ø180mm×55mm ，壁厚 7mm

   6、内腔： Ø165mm×55mm

   7、清洗电极： Ø120mm

   8、样品台： Ø150mm ，有效尺寸 Ø140mm

   9、样品台与电极间距： 15mm-50mm 可调

   10、抽气管： Ø12mm

   11、极限真空度： 0.1Pa

   12、工作真空度： 60Pa-500Pa

   13、气路数量： 2 路（选装）

   14、流量控制器数量： 1 、2

   15、流量显示仪： 2 通道

   16、气路接口： Ø6mm

   17、加热样品台： Ø140mm ，加热样品温度 RT-600℃±1℃（选装）

   18、冷却水压力： 0.2KPa-0.4KPa

    19、工作环境： 温度 5℃-35℃，湿度<80%  （相对湿度）不结露， 海拔高度 0-2000m