全自动石墨舟装卸片机
产品简介
详细信息
离线全自动石墨舟装卸片机
Offline Automatic Wafer Handling System for PECVD
在线全自动石墨舟装卸片机
Inline Automatic Wafer Handling System for PECVD
创生源自动化依托本公司雄厚的技术力量, 自主研制了AWLB-PE10000系列全自动石墨舟装卸片机,刻蚀制程后花篮中硅片自动装片至石墨舟，PE镀膜制程完成后石墨舟卸片至花篮或堆栈片盒。整个装卸片过程全自动控制，避免因人工装片/卸片对硅片表面产生的污染且有效降低碎片率,有助于产能与良率比。
设备名称: 全自动石墨舟装卸片机
设备型号：AWLB-PE5000
设备用途：AWLB-PE5000全自动石墨舟装卸片机集装片和卸片一体,可从石墨舟中把PE镀膜后的硅片卸到花篮或堆栈片盒中,也可从花篮中将刻蚀后的硅片装入石墨舟中。采用装片与卸片可连续衔接方式，实现连续生产；也可单独装片或单独卸片。
技术特点：
---- 可应用于离线、在线管式PECVD石墨舟装卸片.
---- 可应用于156.75*156.75、160.75*160.75、162*162、166*166硅片.
---- 可应用于50片、100片等不同规格的花篮.
---- 可应用于240片、264片、308片、352片、416片、432片等石墨舟。
---- 双通道花篮上料，提高上料生产效率。
---- 双通道花篮下料或叠片下料。
---- 双通道输送石墨舟,自动抓舟或手动抬舟。
---- 采用装片与卸片可连续衔接方式,实现连续生产；也可单独装片或单独卸片。
---- 采用总线控制,装卸片过程全自动；触摸屏菜单操作,简洁明了.
---- 具有完善的检测报警系统，保证装卸片自动运行稳定，操作放心。
---- 可选支持MES接口和远程诊断功能.
---- 可选在线隐裂片检测、在线膜厚检测、在线色差检测及不良片剔除功能。
----可选匹配智能工厂AGV接驳口.
---- 产能：Max.8000Pcs/h