BEST-300C 全自动四探针电阻率测试仪
产品简介
适用范围
四端测试法是目前较之测试方法，主要针对高精度要求之产品测试；本仪器广泛用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。
国际标准分类中，四探针法涉及到半导体材料、金属材料试验、绝缘流体、兽医学、复合增强材料、电工器件、无损检测、集成电路、微电子学、土质、土壤学、水质、电子显示器件、有色金属。
详细信息
全自动四探针电阻率测试仪
在中国标准分类中，四探针法涉及到半金属与半导体材料综合、金属物理性能试验方法、、、电工合金零件、特种陶瓷、质谱仪、液谱仪、能谱仪及其联用装置、电阻器、半导体集成电路、工程地质、水文地质勘察与岩土工程、水环境有物质分析方法、电工材料和通用零件综合、半金属、元素半导体材料、金属无损检验方法。
GB/T 6617-2009 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法
GB/T 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定.直排四探针法
GB/T 1551-1995 硅、锗单晶电阻率测定 直流两探针法
GB/T 6617-1995 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法
GB/T 1552-1995 硅、锗单晶电阻率测定直排四探针法
本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料之电导率。液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电导率单位自动选择，BEST-300C 材料电导率测试仪自动测量并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设置。选配：配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成图表和报表。
本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示电阻值、电阻率、方阻、电导率值、温度、压强值、单位自动换算，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.
半导材料四探针测试仪（BEST-300C）
半导电材料电阻测试仪BEST-300C
特点：电阻精度：0.01%，小分辨率0.1uΩ；
方电阻精度：1%，小分辨率：0.1uΩ；
双电测原理，提?精度和稳定性；
测试探头直排和矩形可选；
标配RS232、LAN、IO、通讯接?；
可配戴软件查看和记录测试数据；
全自动四探针电阻率测试仪
使?四探针治具测试?状或块状半导体材料、?属涂层以及导电薄膜等材料的?阻和电阻率
使?开尔?测试夹直接测试电阻器直流电阻；
四端测试法是目前较之测试方法，主要针对高精度要求之产品测试；本仪器广泛用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。
本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料之电导率。液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电导率单位自动选择，BEST-300C 材料电导率测试仪自动测量并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设置。选配：配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成图表和报表。
本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示电阻值、电阻率、方阻、电导率值、温度、单位自动换算，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.
提供中文或英文两种语言操作界面选择，满足国内及国外客户需求
四探针?阻测试仪是运?四探针原理测量?块电阻的专?仪器，电阻率和电导率同时显?。仪器
测试范围0-10MΩ，分辨率0.1uΩ，电阻精度0.01%，精度2%。可?于测试半导体、?属涂层导电薄膜等材料的?阻和电阻率。
参数便于查看的显示/直观的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD显示；操作易学，直观使用；
基本设置操作简单，方阻、电阻、电阻率、电导率和分选结果；多种参数同时显示。
精度高：电阻基本准确度： 0.01％；
方阻基本准确度：1%；
电阻率基本准确度：1%
整机测量相对误差：≤±1%；整机测量标准不确定度：≤±1%
四位半显示读数；十量程自动或手动测试；20mΩ/200mΩ/2000mΩ/20Ω/200Ω/2000Ω/20kΩ/200kΩ/2000ΚΩ/10ΜΩ 10档分选；实现HIGH/IN/LOW分选
测量范围宽： 电阻：10-7Ω～10+8Ω ；方阻：10-7Ω/□～10+8Ω/□；
正反向电流源修正测量电阻误差
恒流源：电流量程为：DC100mA-1A；仪器配有恒流源开关可有效保护被测件，即先让探针头压触在被测材料上，后开恒流源开关，避免接触瞬间打火。为了提高工作效率，如探针带电压触单晶对材料及测量并无影响时，恒流源开关可一直处于开的状态。
可配合多种探头进行测试；也可配合多种测试台进行测试。
校正功能：可手动或自动选择测试量程 全量程自动清零。
厚度可预设，自动修正样品的电阻率,无需查表即可计算出电阻率。
自动进行电流换向,并进行正反向电流下的电阻率(或方块电阻)测量,显示平均值.测薄片时,可自动进行厚度修正。
双电测测试模式，测量精度高、稳定性好.
具备温度补偿功能，修正被测材料温漂带来的测试结果偏差。
比较器判断灯直接显示，勿需查看屏幕，作业效率得以提高。3档分选功能：超上限，合格，超下限，可对被测件进行HI/LOW判断，可直接在LCD使用标志显示；也可通过USB接口、RS232接口输出更为详细的分选结果。
测试模式：可连接电脑测试、也可不连接电脑单机测试。
软件功能（选配）：软件可记录、保存、各点的测试数据；可供用户对数据进行各种数据分
析。
显示语言 英文/中文
供电模式110v/220v
提供中文或英文两种语言操作界面选择，满足国内及国外客户需求
半导材料四探针测试仪（BEST-300C）
半导电材料电阻测试仪BEST-300C
特点：电阻精度：0.01%，分辨率0.1uΩ；
方电阻精度：1%，分辨率：0.1uΩ；
双电测原理，提?精度和稳定性；
测试探头直排和矩形可选；
标配RS232、LAN、IO、通讯接；
可配戴软件查看和记录测试数据；
适用范围使?四探针治具测试?状或块状半导体材料、属涂层以及导电薄膜等材料的?阻和电阻率
使?开尔?测试夹直接测试电阻器直流电阻；
四端测试法是目前较之测试方法，主要针对高精度要求之产品测试；本仪器广泛用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。
本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料之电导率。液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电导率单位自动选择，BEST-300C 材料电导率测试仪自动测量并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设置。选配：配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成图表和报表。
本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示电阻值、电阻率、方阻、电导率值、温度、单位自动换算，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.
提供中文或英文两种语言操作界面选择，满足国内及国外客户需求
四探针?阻测试仪是运四探针原理测量块电阻的专?仪器，电阻率和电导率同时显?。仪器
测试范围0-10MΩ，分辨率0.1uΩ，电阻精度0.01%，精度2%。可?于测试半导体、?属涂层导电薄膜等材料的?阻和电阻率。
参数便于查看的显示/直观的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD显示；操作易学，直观使用；
基本设置操作简单，方阻、电阻、电阻率、电导率和分选结果；多种参数同时显示。
精度高：电阻基本准确度： 0.01％；
方阻基本准确度：1%；
电阻率基本准确度：1%
整机测量相对误差：≤±1%；整机测量标准不确定度：≤±1%
四位半显示读数；十量程自动或手动测试；20mΩ/200mΩ/2000mΩ/20Ω/200Ω/2000Ω/20kΩ/200kΩ/2000ΚΩ/10ΜΩ 10档分选；实现HIGH/IN/LOW分选
测量范围宽： 电阻：10-7Ω～10+8Ω ；方阻：10-7Ω/□～10+8Ω/□；
正反向电流源修正测量电阻误差
恒流源：电流量程为：DC100mA-1A；仪器配有恒流源开关可有效保护被测件，即先让探针头压触在被测材料上，后开恒流源开关，避免接触瞬间打火。为了提高工作效率，如探针带电压触单晶对材料及测量并无影响时，恒流源开关可一直处于开的状态。
可配合多种探头进行测试；也可配合多种测试台进行测试。
校正功能：可手动或自动选择测试量程 全量程自动清零。
厚度可预设，自动修正样品的电阻率,无需查表即可计算出电阻率。
自动进行电流换向,并进行正反向电流下的电阻率(或方块电阻)测量,显示平均值.测薄片时,可自动进行厚度修正。
双电测测试模式，测量精度高、稳定性好.
具备温度补偿功能，修正被测材料温漂带来的测试结果偏差。
比较器判断灯直接显示，勿需查看屏幕，作业效率得以提高。3档分选功能：超上限，合格，超下限，可对被测件进行HI/LOW判断，可直接在LCD使用标志显示；也可通过USB接口、RS232接口输出更为详细的分选结果。
测试模式：可连接电脑测试、也可不连接电脑单机测试。
软件功能（选配）：软件可记录、保存、各点的测试数据；可供用户对数据进行各种数据分
析。
显示语言 英文/中文
供电模式110v/220v
电阻测量范围：
电阻率： 1×10-6～2×106Ω.cm、
电阻：1×10-5～2×105Ω
电导率：5×10-6～1×108ms/cm
分辨率： 醉小1μΩ
测量误差±5%
测量电压量程：?2mV? 20mV? 200mV?2V?
测量精度±（0.1%读数）
分辨率： 0.1uV 1uV 10uV 100uV
电流输出：直流电流?0～1000mA?连续可调，由交流电源供电。
量程：1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，1000mA,?
误差：±0.2%读数±2字
主机外形尺寸：330mm*340mm*120mm
显示方式：液晶显示
电源：220±10% 50HZ/60HZ
标配：测试平台一套、主机一套、电源线数据线一套。
范围本标准规定了硅片电阻率的扩展电阻探针测量方法。
本标准适用于侧量晶体晶向与导电类型已知的硅片的电阻率和测量材底同型或反型的硅片外延层的电阻率，测量范围，10-* n·cm～10' Ω·cm。
规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，敷励根据本标准达成协议的各方研究是香可使用这些文件的服本。凡是不注日期的引用文件，其版本适用于本标准。
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方法原到扩展电阻法是一种实验比较法。