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该系列芯片有共振扫描和准静态偏转两种工作模式，准静态模式可实现0~±1~±6°不同角度机械偏转。微镜镜面尺寸0.3~3mm，表面镀铝，对可见光光源有良好的反射率。该系列芯片可应用于双轴光开关、激光雷达、医学成像等领域。