| BIO3.100 | BIO3.200 | BIO3.300 | 运动范围XYZ（µm） | 100 | 200 | 300 | 分辨率XYZ（nm） | 0,1 | 0,2 | 0,3 | 典型的噪声基准XYZ（nm） | 0,01 | 0,02 | 0,03 | 的重复性XYZ（nm） | 0,2 | 0,4 | 0,6 | 线性化（典型的） | 0,02% | 0,02% | 0,02% | 谐振频率X / Y / Z（赫兹） | 500/400/400 | 400/350/300 | 300/250/250 | 刚度 X/Y/Z (N/µm) | 0,6/0,5/0,5 | 0,5/0,4/0,4 | 0,4/0,3/0,3 | 负载（kg）-水平使用 | 1 | 1 | 1 | 负载（kg）-垂直使用 | 0,5 | 0,5 | 0,5 | 传感器 | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor | 尺寸W x L x H (mm) | 152,5 x 213 x 20,45 | 152,5 x 213 x 20,45 | 152,5 x 213 x 20,45 | 材料 | Al or Invar | Al | Al | 电缆长度（m） | 2 | 2 | 2 | 推荐控制器 | Standard | Standard | Standard |
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