LFHS2 双轴纳米位移平台 供应商：长春市海洋光电有限公司 企业类型：其他 在线询盘 进入展台 产品简介 LFHS2运动范围XY（m）75分辨率XY（nm）0 详细信息 LFHS2运动范围XY（µm）75分辨率XY（nm）0,075典型的噪声基准 XY（nm）0,0075的重复性XY（nm）0,15线性化（典型的）0,02%谐振频率X / Y（Hz）3000/2000刚度 (N/µm)4/3负载（kg）-水平使用1负载（kg）-垂直使用0,5传感器Silicon HR sensor尺寸W x L x H (mm)120,8 x 120,7 x 28,5材料Al电缆长度（m）2推荐控制器High Speed
