随着设备体积越来越小，精度越来越高，对机械零件制造精度的要求也就越来越高。通过测量仪器可以保持更高的精度，从而可以帮助满足这一需要。THK 的产品对精密仪器的功能起到了至关重要的作用，使其能够检测到极细微的运动和变化。

　　

　　大型3维测量仪器

　　

　　大型 3 维测量仪器的准确导向至关重要。由于探头悬挂在距离导向机构很远处，即使是微小的移动也可能会影响测量精度。这些仪器中使用高精度 LM 导轨来提供精度、平滑运动和刚性。

　　

　　小型测量显微镜

　　

　　高精度加工技术领域对机械加工精度的要求越来越高。用于测量这些微小机械零件的小型测量显微镜使用 THK 的 LM 导轨作为其高速和高性能自动聚焦机构。此外，我们的滚珠导轨还用于对承载试件的工作台进行导向。在进行细微运动的过程中，它们可以提高可操作性。

　　

　　粒度检查器

　　

　　粒度检查器使用传感器进行高速图像分析。这些传感器必须以直线运动形式平滑地移动。振动和速度变化必须减小到zui低程度。我们的小型 LM 导轨可以解决这些难以克服的问题。

　　

　　3-4. 半导体和LCD设备

　　

　　今天，半导体和 LCD 面板制造设备对于任何种类的电气和电子设备（包括个人电脑、和平板电视）的生产都是*的。这些设备的进步促进了个人电脑性能和功能的增强，并通过降低平板电视机的成本丰富了人们的生活。THK 的产品通过精细的运动控制可以满足这类高科技需求。

　　

　　玻璃边缘打磨单元

　　

　　在用于生产汽车导航系统和移动工具LCD面板的系统中，采用了运动极为平滑的紧凑型滚珠丝杠和球保持器型 LM 导轨。

　　

　　玻璃基材输送设备

　　

　　为了快速、长距离地输送大块晶体玻璃基材，必须做到高速、极准确，并且即使在行程很长的情况下也能够加以跟踪。LM 导轨与线性马达驱动系统相结合可以实现这一目标。

　　

　　LCD 面板探测器工作台单元

　　

　　为了检测 LCD 面板基材的电气特性，测量仪必须能够在宽大的区域内准确定位基材。LM 导轨和滚珠丝杠具有很高的加工精度，能够提供这种跟踪控制，帮助实现制造，即使基材的大小增加也没有关系。

　　

　　用于将每块IC芯片从其所在更大的晶片上切割和分离出来。采用激光切割设备和高速旋转轴端上的极薄的径向叶片来准确切下 IC 芯片。在必须始终以高精度和高稳定性运转的引导和驱动部分使用了 LM 导轨和滚珠丝杠。THK 的超超精密技术在这一领域表现十分出色。