普诺克等离子刻蚀旋片真空机组

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罗茨旋片真空机组是以罗茨泵为主泵, 以单级或双级旋片泵做为前级泵串连而成。保留罗茨泵工作迅速、有较大抽气速率的优点。所以该机组被广泛运用于化工行业的真空蒸馏、真空蒸发、脱水结晶；食品行业的冷冻干燥，医药行业的真空干燥等工艺过程中。

罗茨泵真空机组工作性能：
根据各个真空系统工作压力有所不同，在选配机组时必须掌握以下几点：
1. 主泵必须在其较佳工作范围内工作； 
2. 主泵或中间泵与前级泵的压缩比不得其超过允许范围； 
3. 前级泵与罗茨泵的配比尽可能小，当前级泵性能有所下降时，对系统的抽真空性能不会有大的影响。

真空机组型号表示方法：
J ZJ X 1200-4.4
J:机组
ZJ：主泵是罗茨真空泵
X：前级泵为旋片泵
1200：主泵抽速L/S
4.4：泵抽速配比代号

型号：RVT-RH-602
抽速：550 m3/h
极限压力：4.0x10-1mbar
罗茨泵/旋片泵型号：RV0540/2RH090C
罗茨泵/旋片泵电机功率：2.2 Kw/3.7 Kw
罗茨泵/旋片泵注油量：1.5 L/2.5～4.0 L
罗茨泵/旋片泵冷却方式：水冷/空冷
冷却水温度：5～30℃
水量（出口）：4 L/min
排气/进气口径：VG80/VG40
选购件：真空计/变频器；油雾过滤器；电气控制箱

普诺克等离子刻蚀旋片真空机组