纯净的SF₆气体无色无味无毒，且不燃，比重是空气的5倍。当装有SF₆设备的配电装置室如GIS&GIL发生泄漏后，SF₆气体在低层空间积聚到一定浓度后，如果工作人员进入室内，会发生大脑缺氧，甚至快速窒息等严重人身安全事故。另外，在电弧以及局部放电、高温等因素影响下，SF₆气体会产生如SF₄、S₂F₂、SOF₂等高毒分解物，某些分解物遇水产生腐蚀性电解质，这些不仅对人身安全构成严重威胁，而且危害电气设备的正常运行。《电业安全工作规程》（发电厂和变电站部分）特别规定，装有SF₆设备的配电装置室必须保证SF₆浓度小于1000ppm，除须装设强力通风装置外，还必须安装能报警的氧量仪和SF₆气体浓度检测报警仪等监测装置。