| | LFHS3 | | 运动范围XYZ（µm） | 75 | 75 | 50 | | 分辨率XYZ（nm） | 0,075 | 0,075 | 0,05 | | 典型的噪声基准XYZ（nm） | 0,0075 | 0,0075 | 0,005 | | 的重复性XYZ（nm） | 0,15 | 0,15 | 0,1 | | 线性化（典型的） | 0,02% | 0,02% | 0,02% | | 谐振频率X / Y / Z（赫兹） | 3000 | 2000 | 1500 | | 刚度 X/Y/Z (N/µm) | 4 | 3 | 3 | | 负载（kg）-水平使用 | 1 | | 负载（kg）-垂直使用 | 0,5 | | 传感器 | Silicon HR sensor | | 尺寸W x L x H (mm) | 140 x 121 x 33,6 | | 材料 | Al | | 电缆长度（m） | 2 | | 推荐控制器 | High Speed | | |
