CUBE3.100

CUBE3.200

运动范围XYZ（µm）

100

200

分辨率XYZ（nm）

0,1

0,2

典型的噪声基准XYZ（nm）

0,01

0,02

的重复性XYZ（nm）

0,2

0,4

线性化（典型的）

0,02%

0,02%

谐振频率X / Y / Z（赫兹）

200/200/500

200/200/500

刚度 X/Y/Z (N/µm)

0,3/0,3/0,6

0,3/0,3/0,6

负载（kg）-水平使用

0,5

0,5

负载（kg）-垂直使用

0,1

0,1

传感器

Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

尺寸W x L x H (mm)

63,5 x 63,5 x 52,45

63,5 x 63,5 x 52,45

材料

Al

Al

电缆长度（m）

2

2

推荐控制器

Standard

Standard