LFHS2 双轴纳米位移平台
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长春市海洋光电有限公司
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LFHS2
运动范围XY（µm）
75
分辨率XY（nm）
0,075
典型的噪声基准 XY（nm）
0,0075
的重复性XY（nm）
0,15
线性化（典型的）
0,02%
谐振频率X / Y（Hz）
3000/2000
刚度 (N/µm)
4/3
负载（kg）-水平使用
1
负载（kg）-垂直使用
0,5
传感器
Silicon HR sensor
尺寸W x L x H (mm)
120,8 x 120,7 x 28,5
材料
Al
电缆长度（m）
2
推荐控制器
High Speed
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