关键词：SiO2、AlN、Al2O3、介电膜、刻蚀、电子枪、

              离子枪、氧化铝、氮化铝、二氧化硅

  型号： MEB400S，  产地：欧洲    应用：沉积介电薄膜（SiO2, AlN, Al2O3等）

• 用于介电质膜层沉积，例如SiO2，Si3N4，Al2O3

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• 样品台双行星转动，可加载4英寸衬底

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• 配备Load Lock和主腔体

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• 真空系统：采用低温泵/分子泵+干泵

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• 10kW电子束源，多枪

• 样品台可加热

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• 配备离子枪，可对样品进行清理和刻蚀

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• 配备氩气、氮气气路和MFC

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• 全自动电脑控制系统，半自动和手动可用

 支持远程维护、操作、监控

 典型用户：格拉斯哥大学