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| 测量参数（μm） | Ra、Rz、Rq、Rt |
| 测量范围（μm） | Ra/Rq:0.05μm ~ 15.0μm Rz/Rt:0.1μm~50μm |
| 取样长度（mm） | 0.25，0.80，2.50 |
| 评定长度（mm） | 1.25，4.0，5.0 |
| 行程长度（mm） | 6 |
| 示值精度 | 0.01 |
| 示值误差 | ±15% |
| 示值变动性 | ＜12% |
| 传感器触针针尖圆弧半径及角度 | 针尖圆弧半径：10μm±1μm |
| 传感器触针静测力及其变化率 | 触针静测力：≤0.016N 测力变化率：≤800N/m |
| 传感器导头压力 | ≤0.5N |
| 电池 | 3.7V锂离子电池 |
| 外形尺寸 | 106 mm×70 mm×24 mm |
| 重量 | 200g |
| 工作环境条件 | 温度：-20℃～60℃ 相对湿度：<90% 周围无振动、无腐蚀性介质 |
