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参数/型号 X/Y/Z测量行程(mm) 探测误差 外形尺寸(mm) 载荷 仪器重量 示值误差 运动速度 温度范围 温度变化 气源压力 耗气量 湿度范围 功率 振动频率 测头 校正球座 电源 | 手动564 500mm*600mm*400mm MPEP≤3.9um 1220mm×1150mm×2400mm 300kg 550kg MPEE≤3.5+L/200mm / 20±2℃ < 0.5℃/h <1°C /24h 0.6MPa~0.8MPa 200L/min(0.45MPa) 30%-70% 1 KW 振动频率≤10 Hz 振幅≤0.5μm 振动频率≤30 Hz 振幅≤1μm 振动频率≥30 Hz 振幅≤3μm RENISHAW MH20i手动双旋转测头 万向球座 220V+5%, 50HZ | 自动564 500mm*600mm*400mm MPEP≤2.4um 1420mm×1135mm×2310mm 500kg 900kg MPEE≤2.3+L/300um 430mm/s 20±2℃ < 0.5℃/h <1°C /24h 0.6MPa~0.8MPa 200L/min(0.45MPa) 30%-70% 1 KW 振动频率≤10 Hz 振幅≤0.5μm 振动频率≤30 Hz 振幅≤1μm 振动频率≥30 Hz 振幅≤3μm RENISHAW MH20i手动双旋转测头 万向球座 220V+5%, 50HZ | 自动686 600mm*800mm*600mm MPEP≤2.7um 1740mm×1420mm×2760mm 800kg 1300kg MPEE≤2.6+L/250um 430mm/s 20±2℃ < 0.5℃/h <1°C /24h 0.6MPa~0.8MPa 200L/min(0.45MPa) 30%-70% 1 KW 振动频率≤10 Hz 振幅≤0.5μm 振动频率≤30 Hz 振幅≤1μm 振动频率≥30 Hz 振幅≤3μm RENISHAW MH20i手动双旋转测头 万向球座 220V+5%, 50HZ |