输入功率 

 AC 110V , 50/60 Hz, < 200W 

输出频率

 13.56 MHz

功率

• 低档716V DC 10 mA DC 7.2 W 
• 中档720V DC 15 mA DC 10.5W 
• 高档740V DC 40 mA DC 30 W 

等离子腔体 

尺寸：6" dia x 6.5" l 石英腔体

真空泵和阀

• 仪器中包括有一双极旋片泵，2XZ-2，抽气速率为2L/s, 
• 泵上安装有一个不锈钢针阀，其接口为宝塔嘴接头

通入的气体 

腔体中可以通入多种气体，如N2, Ar, Air ，也可以通入多种混合气体，以满足实验需要 ，不可以通入可燃性气体进入等离子腔体中

可选配件

• 如果基片的直径为2"和4"，可以选购石英架，每个石英架上可以放25片
• 数字式真空显示计，可以精确显示石英腔体内的真空度

可选真空计

 

• 可选本公司生产研发的电阻真空计
• 此款真空计是以Pirani电阻规在不同真空环境下体现的热传导特性为原理而研发的一款低真空测量仪器，特别适应于从常压到0.1Pa非腐蚀性气体环境的真空度测量。
    

外型尺寸

11" H x 18" W x 9" D 

细节图

质保期

一年质保  ( 不包括石英腔体和密封圈) 

质量认证

  CE Certified