PEG100 中真空至超高真空真空计

INFICON 潘宁PEG100型真空计提供可靠的高真空测量。 坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现灯丝烧毁的现象。 由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低，真空计还可在溅射应用环境下运行。 现场总线选件，除了对数模拟输出信号外，允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议将真空计轻松集成到真空系统中。

益处

• 测量范围广，从 1 x 10^-9 至 1 x 10^-2 毫巴（7.5 x 10^-10 至 7.5 x 10^-3 托）
• 全金属冷阴极传感器（潘宁），带陶瓷馈入装置
• 创新的电极几何形状提供的点火属性
• 等离子点火后降低的高压和钛阴极板可减少污染危险，即使在有氩气的溅射运行中
• 阳极环和钛阴极可轻松进行清洁或更换
• 最小化真空计附近的磁场强度
• 用于电源接通和等离子体点火的 LED 指示器
• 对数模拟输出信号
• 现场总线接口（Profibus DP、DeviceNet）允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中

典型应用

• 高真空压力监控
• 蒸发溅射系统
• 高真空范围内的一般真空测量和控制