5850EMH | 5851EMH系列高温质量流量控制计-北京北方大河仪器仪表有限公司手机版

详细介绍

5850EMH / 5851EMH

来自 Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高温金属密封质量流量控制器结合金属密封泄漏完整性，为高温气体测量和控制提供了性能，具有多种选择，允许应用灵活性。5850EMH 系列的核心是稳定的传感器，其提供与流速线性相关的电气输出信号。该信号用于指示、记录和/或控制目的而无需自动归零电路。

5850emh

特点

泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）
宽流速范围（0.003 – 100 slpm）
高纯度 VAR 316L 不锈钢
无磨粒
氦泄漏检查端口
常闭阀（可选常开阀）
电致动阀复位
低命令流量断流
TTL 兼容”关阀”功能

优势

稳定、可靠的产品平台
高流量，高达 100 lpm（N2 当量）
全金属流路提高气体纯度及减少泄漏
仅使用模拟输入/输出容易安装和维修

应用

光纤制造——MCVD，OVD，AVD
水汽流量控制

产品简介

详细介绍

特点

优势

应用