产品简介

QMG 700 分析质谱仪QMG 700 分析质谱仪超越检测极限且达到优异的稳定性和细微的分辨率半导体制造技术的快速发展有赖于灵敏而可靠的气体分析解决方案。在工厂或实验室中，选择 INFICON QMG 700 分析质谱仪以突破检测极限，推动工艺创新，提升工艺水平。QMG 700 的模块化设计带来的性能和适应性。利用 QMG 700 增强竞争优势，获得出众的测量能力。根据具体的应用要求，选择配制合适的离子源、滤质器和射频电源，可量身定制QMG 700。QMG 700有超过九个数量级的动态测量量程，达到ppb 检测量级，这种优势使其成为超高真空测量的理想选择。QMG 700 对整个质量范围都有很高的分辨率，对较低的质量可获得更高的分辨率。对于某些挑战性的测量应用，如同位素分析，氦和氘分离等，QMG 700是的选择。QMG 700 出色的长期稳定性可保证关键性的测量，有效控制您的工艺。 INFICON 在分析质谱仪领域五十多年的历史和的技术，确保QMG 700 成为进行气体分析的正确选择。依赖 INFICON QMG 700 以及我们享誉世界的应用专长，您可获得始终如一的高精度......

详细介绍

QMG 700 分析质谱仪

超越检测极限且达到优异的稳定性和细微的分辨率

半导体制造技术的快速发展有赖于灵敏而可靠的气体分析解决方案。在工厂或实验室中，选择 INFICON QMG 700 分析质谱仪以突破检测极限，推动工艺创新，提升工艺水平。QMG 700 的模块化设计带来的性能和适应性。利用 QMG 700 增强竞争优势，获得出众的测量能力。

根据具体的应用要求，选择配制合适的离子源、滤质器和射频电源，可量身定制QMG 700。QMG 700有超过九个数量级的动态测量量程，达到ppb 检测量级，这种优势使其成为超高真空测量的理想选择。QMG 700 对整个质量范围都有很高的分辨率，对较低的质量可获得更高的分辨率。对于某些挑战性的测量应用，如同位素分析，氦和氘分离等，QMG 700是的选择。QMG 700 出色的长期稳定性可保证关键性的测量，有效控制您的工艺。

INFICON 在分析质谱仪领域五十多年的历史和的技术，确保QMG 700 成为进行气体分析的正确选择。依赖 INFICON QMG 700 以及我们享誉世界的应用专长，您可获得始终如一的高精度测量数据。

功能

质量范围选择为 1-2048 amu
超过九个数量级的动态量程
极快的测量速度：0.125 ms/amu
MDPP < 10E-16 mbar
涵盖整个质量范围的高分辨率：质量 1、2 和 3 可在 ppb 范围内清晰地分离
超过 10 个不同的离子源和离子光学组合
离散或连续倍增电极电子倍增器选件
用于正负离子以及中性粒子分析的离子计数前置放大器
IO 选项：8 个模拟输入/输出和 32 个数字输入/输出
软件功能强大，灵活实用且具友好的用户界面

典型应用

Gas discharge mass spectrometry
End point detection
Deposition material monitoring
Secondary ion mass spectrometry

零件号

QMA 400
零件号	明细
490-709
490-710	QMA 400 with axial Ionenq.
490-711	QMA 400, 8mm Mo,217, W, CB
490-712	QMA 400 mit CB-IQ, MAG
490-713	QMA 400, 8mm Mo,217, CB-GT
490-721	QMA 400 mit CB_Ionenq. gasd.
490-722	QMA 400 m. CB-IQ, Y-Kat., Mag. isol.
490-755
490-756	QMA 400, 8mm Mo, UF6
490-756-2	QMA 400, 8mm Mo, UF6 Untested Assembly
490-770	QMA 400 mit CB-Ionenq.gasd., spezial
490-772	QMA 400 with Axial Ionenq, W
BKM07627
PTM07736	QMA 400 mit Crossb.-Ionenq.
QMA 410
零件号	明细
490-811	QMA 410 Cross Beam IS w/ Magnet
490-813	QMA 410, CB-IQ Gas-Tight with Magnet
490-816	QMA 410,16mm Mo,217, W, CB
QMA 430
零件号	明细
490-911	QMA 430, 8mm SS,217, W, CB
490-912	QMA 430, 8mm SS,217, W, CB-GT
490-921	QMA 430, 8mm SS,217, W, CB (GIA)

规格

类型	QMA 400	QMA 410	QMA 430
质量范围	1-2048 amu (1)	1-340 amu (2)	1-300 amu
传感器长度	441.5 mm	548 mm	441.5 mm
杆直径	8 mm	16 mm	8 mm
杆材料	Molybdenum	Molybdenum	Stainless Steel
法兰	DN 63 CF-F	DN 100 CF-F	DN 63 CF-F
检测器类型	Faraday/SEV 217	Faraday/SEV 217	Faraday/SEV 217
工作压力 (FC)	1 E-4 mbar	1 E-4 mbar	1 E-4 mbar
工作压力 (EM)	1 E-5 mbar	1 E-5 mbar	1 E-5 mbar
灵敏度	5 E-4 A/mbar	1 E -3 A/mbar	2 E-4 A/mbar
最小可检测分压	1 E-15 mbar	5 E-16 mbar	1 E-15 mbar
分辨率（可调）	0.3 - 7 amu	0.2 - 2.2 amu	0.3 - 7 amu
分压比	< 0.5 ppb	< 0.5 ppb	< 0.5 ppb
工作温度传感器	150 °C	150 °C	150 °C
烘烤温度	400 °C	400 °C	400 °C
工作温度电子单元	40 °C	40 °C	40 °C
测量速度	0.125 ms - 60 s/amu	0.125 ms - 60 s/amu	0.125 ms - 60 s/amu
电源	100 - 240 VAC	100 - 240 VAC	100 - 240 VAC

(1) QMA 400 的可检测质量范围为：1-512 amu、1-1024 amu、1-2048 amu。

QMA 400 的规格基于 512 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置

(2) QMA 410 的可检测质量范围： 1-16 amu、1-128 amu、1-340 amu。

QMA 410 的规格基于 128 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置