详细介绍

CYB-10S溅射薄膜压力传感器

概述：
CYB-10S离子束溅射薄膜压力传感器，应用
*的离束溅射和离子束刻蚀工艺，将应变电桥直
接制作在金属测压膜片上。由于不用传统的胶粘工
艺，显著改善了应变式传感器的长期稳定性及抗蠕
变特性，使产品使用的温度范围大为扩展。由于没
有活动部件，抗振动和抗冲的能力很强，可用于恶
劣的环境。

指标名称	性能指标
被测介质	气体，液体（和17-4PH不锈钢相容）及蒸气
供电电源	5～15V DC
输出	≈1.5～1.8mV/V
量程	0～300 MPa
精度	±0.1%FS、±0.25FS、±0.5%FS
零点温漂	±0.01%FS/℃
灵敏度温漂	±0.02%FS/℃
输出阻抗	2.5±0.5KΩ
绝缘电阻	≥500 MΩ（250V DC）
工作温度	-40～85℃
过载能力	150%FS
连接方式	M10×1双″0″圈密封
接液材料	膜片17-4PH; 过程连接件1Cr18Ni 9Ti
相对温度	0～90% RH
重量	40g

高精度、高稳定性精度优于0.1%FS年；
抗振动、冲击、耐腐蚀全不锈钢结构；
本积小、重量轻直接过程安装：

航空航天发动机测试系统；
自动控制及检测系统；
液压、船舶、柴油机行业；
变送器及其他产品配套厂商；

产品简介

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CYB-10S溅射薄膜压力传感器