【IO-Link对应】
通过IO-Link通信可进行数据收集并且可进行从上一级的远程操作。

【检测系统异常（预防维护）】
除检测传感器、电磁比例阀老化的自我检测外，还检测包括周边系统在内的异常。
通过IO-Link输出警告。

【适用流体、流量范围】
空气、氮气：0.015～50ℓ/min
氩气：0.015～50ℓ/min
氧气、管道燃气、甲烷、丙烷：0.015～10ℓ/min
氢气、氦气：0.06～20ℓ/min

【搭载控制状态一目了然的数字显示器】
对流量值进行3位数字显示。
除了错误显示之外，还显示输出状态(开关输出ON-OFF)。

【0.5秒的高速控制】
采用经过硅微加工的白金传感器芯片，实现0.5sec的高速控制。

【高度可靠的流量控制】
再现性：±１%F.S.
精度：±3%F.S.