品牌
其他厂商性质
所在地
· 用于不同材料表面的处理
· 手动模式
· 经济型等离子清洗机,小型腔体
· 适合于研究院、高校、研发中心使用
· 操作简单易使用
型号 | ZEPTO ONE | |
控制系统 | 手动控制 | |
工艺气路 | 单路气体 | |
工艺气体 | O2,Ar,N2,CO2,H2,Air等 | |
流量计 | 针阀流量计 | |
单体导入 | H2O等单体(选配) | |
真空 腔体 | 材质 | 高硼硅玻璃,盖子门带观察窗(石英选配) |
内尺寸(Dia.×D) | 105mm×200mm | |
容积 | 1.7L | |
电极 | 360度外置环绕电极 | |
发生器* | 100KHz 0~30W 13.56MHz 0~30W | |
托盘 | 高硼硅玻璃,(石英选配) | |
外形尺寸(WXDxH)mm | 269x324x176 | |
电源 | AC220V 50Hz 10A | |
真空泵 | 排气速度4m3/H |
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