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典型应用
规格
| 类型 | MPG400 FPM sealed | MPG401 metal-sealed | |
|---|---|---|---|
| 测量范围（空气，N2） | 5 x 10-9 … 1000 | 5 x 10-9 … 1000 | |
| 精度 (N2) | |||
| 1 x 10-8 … 100 毫巴 | % of reading | ≈±30% | ≈±30% |
| 可重复性 | |||
| 1 x 10-8 … 100 毫巴 | % of reading | ≈±5% | ≈±5% |
| 安装定位 | any | any | |
| 容许压力 | bar (absolute) | ≤10 (limited to inert gases) | ≤10 (limited to inert gases) |
| 容许温度 | |||
| 运行（环境） | °C | +5 … +55 | +5 … +55 |
| 贮存 | °C | –40 … +65 | –40 … +65 |
| 烘烤 (1) | °C | 150 | 150 |
| 单丝温度（皮拉尼） | °C | 120 | 120 |
| 电源电压 | |||
| 真空计上 | V (dc) | +15 … +30 | +15 … +30 |
| 缆线最长的电源装置 (2) | V (dc) | +16 … +30 | +16 … +30 |
| 波纹 | V (p-p) | ≤1 | ≤1 |
| 功耗 | W | ≤2 | ≤2 |
| 可连接的保险丝 | AT | ≤1 | ≤1 |
| 输出信号（测量信号） | |||
| 电压范围 | V | 0 … +10.5 | 0 … +10.5 |
| 测量范围 | V | +1.82 … +8.6 | +1.82 … +8.6 |
| 电压与压强 | logarithmic, 0.6 volts per decade | logarithmic, 0.6 volts per decade | |
| 错误信号 | |||
| 无电源 | V | <> | <> |
| 皮拉尼传感器，单丝断裂 | V | >9.5 | >9.5 |
| 输出电阻 | Ω | 2 x 10 | 2 x 10 |
| 最小负载电阻 | kΩ | 10, short-circuit proof | 10, short-circuit proof |
| 反应时间 | |||
| p > 10-6 毫巴 | ms | <> | <> |
| p = 10-8 毫巴 | ms | ≈1000 | ≈1000 |
| 识别真空计 | 85, referenced to supply common | 85, referenced to supply common | |
| 状态 | |||
| 仅皮拉尼模式 | V | 0 (low) | 0 (low) |
| 复合皮拉尼 / 冷阴极模式 | V | 15 … 30 (high) | 15 … 30 (high) |
| LED | LED green | high voltage on | high voltage on |
| 电气连接 | FCC 68 appliance connector, 8 poles, female | FCC 68 appliance connector, 8 poles, female | |
| 传感器电缆 | 8 poles plus shielding | 8 poles plus shielding | |
| 电缆长度 | m | ≤50 (8 x 0.14 mm2) | ≤50 (8 x 0.14 mm2) |
| 运行电压 | kV | ≤3.3 | ≤3.3 |
| 运行电流 | µA | ≤500 | ≤500 |
| 暴露于真空的材料 | stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W | stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W | |
| 内部容积 | cm³ | ≈20 | ≈20 |
| 重量 | |||
| DN 25 ISO-KF | g | ≈700 | ≈730 |
| DN 40 ISO-KF | g | ≈720 | ≈750 |
| DN 40 CF-F | g | ≈980 | ≈1010 |
| 保护类别 | IP 40 | IP 40 | |
| 标准 | |||
| CE 合规 | EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 | EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 | |
1）没有电子元件和磁屏蔽。
2）电源单元的最小电压必须与传感器电缆的长度成比例地增加。
零件号
| MPG400 FPM sealed | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 351-010 | MPG400 真空计 |
| 351-011 | MPG400 DN 40 ISO-KF |
| 351-012 | MPG400 DN 40 CF-F |
| MPG401 metal-sealed | |
| 零件号 | 明细 |
| 351-020 | MPG401 DN 25 ISO-KF |
| 351-021 | MPG401 DN 40 ISO-KF |
| 351-022 | MPG401 DN 40 CF-F |
| 351-023 | 磁屏蔽 |
附件
| MPG400 FPM sealed | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 351-023 | 磁屏蔽 |
| MPG401 metal-sealed | |
| 零件号 | 明细 |
| 351-023 | 磁屏蔽 |
备件
| MPG400 FPM sealed | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| BN846469-T | Spare measurement system MPG400 |
| BN846470-T | Spare measurement system MPG400 DN40 KF |
| BN846471-T | Spare measurement system MPG400 DN40CF-F |
| 351-994 | MPG40X 点火单元 |
| 351-995 | 起辉器 |
| 351-998 | 维修包 |
| 351-999 | 维修保养套件 |
| MPG401 metal-sealed | |
| 零件号 | 明细 |
| BN846472-T | Replacement meas. unit MPG401 DN25 KF |
| BN846473-T | Replacement meas. unit MPG401 DN40 KF |
| BN846474-T | Spare meas. system, MPG401 DN40CF-F |
| 351-994 | MPG40X 点火单元 |
| 351-995 | 起辉器 |
| 351-996 | MPG401 Repair set |
| 351-997 | MPG401 Maintenance set |
数据表
手册
三维步骤文件
视频
