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(Granville-Phillips® 和 Micro-Ion® 是 MKS Instruments, Andover, MA 的注册商标)
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类型 | BAG302 | |
---|---|---|
测量范围 | 1.3 x 10-9 ... 6.7 x 10-2 | |
精度 (N2) | ||
1.3×10-8 … 6.7 ×10-2 mbar | % of reading | ±15 |
1×10-8 … 5×10-2 Torr | % of reading | ±15 |
可重复性 | % of reading | ±5 |
脱气 | ||
p < 6.7="" x="">-5 | mbar | electron bombardment, 2 min (default) |
p < 5.00="" x="">-5 | Torr | (programmable between 2 ... 10 min) |
温度 | ||
运行(环境) | °C | 0 ... +40 |
存储 | °C | -40 ... +70 |
法兰处烘烤(传感器,已拆下电子元件) | °C | 200 |
电源电压 | V (dc) | +20 ... +28 |
模拟输出信号 | V | 0 ... +9 (log-linear) |
电压与压力 | volts per decade | 1 |
设定点继电器 | 1 (single-pole double-throw relay (SPDT)) 1 A at 30 V (dc) resistive, or V (ac) non-inductive | |
电气连接 | D-Sub, 9-pin, male for analog,D-Sub, 9-pin, female for RS485 | |
接口(数字式) | RS485 | |
发射控制 | manual | |
丝极 | two Yt2O2 coated Ir | |
丝极状态 | display / digital output | |
数字功能 | degas, filament on/off and emission control | |
暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, W, Ta, stainless steel, glass, Ni | |
安装方向 | any | |
内部容积 | cm³ (in.³) | 16.4 (1.0) |
重量 KF / CF | 270 |
数据表
手册
三维步骤文件