一、简介

　　此系列阀门为气动驱动方式，在结构上设计合理，外形上美观，并具有动作平稳、冲击振动小、使用可靠、密封性能好和寿命长等优点，是半导体行业中真空设备自动化阀门之一。阀门是以压缩空气推动气缸为动力，通过传动杆推(拉)动连杆机构，带着驱动体沿轴向运动，驱动体通过摆杆与阀板连接并带动阀板开启及关闭动作。阀门的介质为空气及非腐蚀性气体。

二、特点

• 采用多摆杆均匀分布支撑结构，阀板受力均匀，阀门开启冲击振动小，噪声低;

• 四滚轮支撑运动机构，动作平稳，运动噪声小;

• 动密封采用波纹管密封，其它密封件为氟橡胶，密封可靠;

• 阀体采用不锈钢内部焊接，漏率小;

• 在更小的体积上，一次性通过更多的工件，合理使用了空间。

三、主要性能指标

• 适用范围：1×10^-6Pa～1.2×10⁵Pa

• 打开时插板上的压差：≤2×10³Pa任意方向

• 阀体和阀座漏率： <1.3×10^-7Pa·L·s^-1

• 保养循环次数：10，0000次

• 阀体烘烤温度：≤150℃

• 安装位置：驱动体水平或垂直

• 电源：交流220V 50Hz 6W或直流 24V 3W(特殊规格可定做)

• 压缩空气：0.5～0.7MPa

• 阀门开启或关闭时间：根据公称通径而定

• 阀门位置指示：带有启闭位置指示开关(磁性开关)

• 阀门重量：以不同公称通径而定