实际测量尺寸

l  300*200*180(mm)

测量精度

（3+L/200）μm

外形尺寸（mm）

660*560*960

整机重量

180kg

机械本体

底座，立柱：济南花岗岩精度00级，平面度3μm,物理稳定

导轨：FY- V型高平衡滚子交叉导轨

光栅尺： 新天精密闭合式光栅尺,分辨率1微米

Z轴驱动方式：  手动对焦  

光学系统

CCD

日本索尼芯片彩色工业数字摄像机

镜头

可连续变倍高清镜头，光学放大倍率0.7×-4.5×

表面光

美国进口灯珠LED环形冷光源，光源稳定，寿命高

轮廓光

美国进口灯珠LED圆形冷光源，光源稳定，寿命高

轴承配件

日本NSK高速轴承

日本NSK高速轴承

限位开关件

日本欧姆龙点限位开关

日本欧姆龙点限位开关

联轴器

日本米思米联轴器

日本米思米联轴器

软件系统

智能自动测量系统

0. 1微米分辨率三轴DC300解析系统

高清晰SDK2000视频采集系统

附件

保养手册

出厂检验报告

1微米分辨率校准片

各适用连接线