一、产品介绍：

 氨

NH3 

0-100ppm

AsH3 

0-0.2ppm 

三氯化硼

BCl3

0-8.0ppm

BF3

0-8.0ppm

（低浓度的）

BF3

0-2.0ppm

溴

Br2

0-0.4ppm 

 二氧化碳

CO2

0-2% vol

 一氧化碳

CO

0-100ppm

氯

Cl2

0-2.0ppm

 二氧化氯

ClO2

0-0.4ppm

ClF3

0-0.4ppm

硼乙烷

B2H6

0-0.4ppm

二氯甲硅烷

H2SiCl2

0-8.0ppm

二氟甲烷

CH2F2

0-120ppm

乙硅烷

Si2H6

0-20ppm

氟

F2

0-4.0ppm

锗烷

GeH4

0-0.8ppm

六氟丁乙烯

C4F6

0-40ppm

氢（%爆炸下限（LEL））

H2

0-99% LEL

氢（ppm）

H2

0-1000ppm

溴化氢

HBr

0-8.0ppm

HCl

0-8.0ppm

HCN

0-20ppm

氟化氢

HF

0-12ppm

氟化氢（低浓度的）

HF

0-2.0ppm

硫化氢

H2S

0-40ppm

硫化氢（高浓度的）

H2S

0-100ppm

 甲烷（%爆炸下限（LEL））

 CH4

0-99% LEL

甲基氟

CH3F

0-60ppm

二氧化氮

NO2

0-12ppm

一氧化氮

NO

0-100ppm

三氟化氮

NF3

0-40ppm

八氟环戊烯

C5F8

0-40ppm

氧气能力&缺氧

O2

0-25% vol

臭氧

O3

0-0.4ppm

PH3

0-1.2ppm

氢氧化磷

POH3

0-0.4ppm

硅烷

SiH4

0-20ppm

硅烷（低浓度的）

SiH4

0-2.0ppm

二氧化硫

SO2

0-8.0ppm

 六氟化硫

SF6

0-8000pm

四氟化硫

SF4

0-0.4ppm

正硅酸乙酯

TEOS

0-40ppm

六氟化钨

WF6

0-12ppm

六氟化钨（低浓度的）

WF6

0-2.0ppm