秦思肯Tescan LYRA3 GM 扫描电子显微镜是一款由计算机控制的聚焦离子束场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统(GIS)，有高真空和低真空两种模式，其具有突出的光学性能、清晰的数字化图像、成熟、用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等。

秦思肯Tescan LYRA3 GM 扫描电子显微镜分析潜力：高亮度肖特基发射可获取高分辨率、高电流和低噪声的图像；可选配超高分辨率的In-Beam二次电子探头；的三透镜大视野观察（Wide Field Optics™）设计提供了多种工作模式和显示模式，体现了TESCAN*可优化电子束光阑的中间镜设计；结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™）可模拟和进行束斑优化；成像速度快；低电压下的电子束减速模式（Beam Deceleration Technology – BDT），可获得高分辨率（选配）；In-Beam背散射电子探头提供小工作距离下的BSE图像（选配），甚至适合铁磁性样品的分析；全计算机化优中心电动载台设计优化了样品操控；的几何设计更适合安装能谱仪（EDX）、波谱仪（WDX）、背散射电子衍射仪（EBSD）；由于使用了强力的涡沦分子泵和无油干式真空泵，因而可以快速简单的得到干净的真空样品室。电子枪的真空由离子泵维持。全自动设置的显微镜包括了电子光路设置和合轴功能网络操作和内置远程控制/诊断软件为标配；3维电子束技术提供了实时立体图像；在低真空模式下样品室真空可达到500Pa，用于观测不导电样品；的离子差异泵（2个离子泵）使得离子散射效应非常低；聚焦离子束镜筒内有马达驱动高重复性光阑转换器；聚焦离子束的标配包括了电子束遮没装置和法拉第筒；在高束流下，选配的Cobra聚焦离子束提供了超高的分辨率和的性能；FIB切割、信号采集、3维重构（断层摄影术），3D EBSD、3D EBIC与集成3维可视化；成熟的SEM/FIB/GIS操作软件，图片的获取、存档、处理和分析功能

LYRA3配置：装有马达驱动全计算机化优中心样品台的超大样品室电镜，适用于在高真空模式下对导电样品的分析。可变真空式SEM，体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测不导电的样品，不需要喷金。

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