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面议分辨率 | 300 kV,80 kV | |
物镜种类※1 | UHR极靴 | HR极靴 |
STEM分辨率(300kV) 使用STEM校正器 | 0.063nm | 0.082nm |
TEM分辨率(300 kV) | 线分辨率0.05nm | 线分辨率0.06nm |
使用TEM校正器 | 非线性信息分辨极限0.06nm | 非线性信息分辨极限0.08nm |
线性信息分辨极限0.09nm | 线性信息分辨极限0.12nm |