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面议[分辨率] | |
STEM | 2.0 nm (1000 kV) |
TEM (晶格, 点) | 0.16 nm (点, 1000 kV) |
0.10 nm (晶格, 1000 kV) | |
[放大倍率] | |
STEM | x 20,000 ~ x 2,000,000 |
TEM | x 200 ~ x 1,200,000 |
[电子源] | |
电子源 | LaB6 |
加速电压*2 | 800, 1000 kV |
[稳定度] | |
加速电压 | ≦8 x 10-7/min |
物镜电流 | ≦5 x 10-7/min |
[样品系统] | |
样品台 (测角仪) | 全对中样品台 |
样品尺寸 | 3 mmφ |
倾斜角 | *3 |
行程范围 (mm) | X, Y: ±1 Z:±0.5 |
[选配] *4 |