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面议分辨率 | |
---|---|
扫描透射暗场像 | 82pm(加速电压200kV、肖特基场发射电子枪) 78pm(加速电压200kV、冷场发射电子枪) |
透射像(点分辨率) | 190pm(加速电压200kV) 110pm(加速电压200kV、安装TEM球差校正器) |
倍率 | |
扫描透射像 | X200~X150,000,000 |
透射像 | X50~X2,000,000 |
电子枪 | |
电子枪 | 肖特基场发射电子枪 冷场发射电子枪(选配件) |
加速电压 | 200~80kV(标准200kV、80kV) |
样品系统 | |
样品台 | 全对中侧插式测角样品台 |
样品尺寸 | 3mmΦ |
倾斜角 | X轴: ±25° Y轴: ±25°(使用双倾样品杆) |
移动范围 | X,Y: ±1mm Z: ±0.1mm(马达驱动/压电驱动) |
球差校正器 | |
照明系统球差校正器 | 标配 |
成像系统球差校正器 | 选配件 |
选配件 | |
主要选配件 | 能谱仪(EDS) 电子能量损失谱仪(EELS) CCD数码相机系统 TEM/STEM断层扫描系统 双棱镜 |