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面议分辨率 | |
二次电子像 | ≦0.5nm(加速电压200kV) ≦1.0nm(加速电压100kV) |
扫描透射像 | 0.16nm(加速电压200kV) |
透射像(晶格分辨率) | 0.1nm(加速电压200kV) 0.2nm(加速电压100kV) |
倍率(24英寸宽屏液晶显示器) | |
二次电子像 | X100~X150,000,000 |
扫描透射像 | X100~X150,000,000 |
透射像 | X500~X20,000,000 |
电子枪 | |
电子枪 | 肖特基场发射电子枪 |
加速电压 | 200kV、100kV |
[样品系统] | |
样品台 | 全对中侧插式测角样品台 |
样品尺寸 | 3mmΦ |
倾斜角 | X轴:±25° Y轴:±30°使用(双倾样品杆时) |
移动范围 | X,Y: ±1mm Z: ±0.2mm(马达驱动/压电驱动) |
[选配件] | |
能谱仪(EDS) 电子能量损失谱仪(EELS) CCD数码相机系统 TEM/STEM三维断层扫描系统 |